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。这一成果标志着中科九微在半导体真空技术领域取得了重要突破，彰显了公司在自主创新方面的强大实力。
“MTP系列磁悬浮复合分子泵”是中科九微承担的国家重大攻关专项研究成果，是半导体制作的完整过程中不可或缺的关键设备之一。它的成功研制和推广应用，将有力提升我国半导体产业的自主可控能力，逐步推动半导体产业向高端、智能、绿色方向发展。
MTP系列磁悬浮复合分子泵产品特点：一体化结构设计、任意角度安装、噪音低、洁净无油、免维护、转速可调、集成智能管理系统、断电自动保护系统、冲击预警保护系统、故障诊断功能、温度管理系统、多种通讯方式。
目前该产品累计申请了11项发明专利，在2024年成功研制并实现了产业化，顺利通过了CE和SEMI等国际权威检验测试认证，获得创客北京专项组优胜奖。这款高端精密产品目前已赢得行业有突出贡献的公司和专家的高度认可！
未来，中科九微将继续秉承“以真空技术赋能高端制造”的理念，不断的提高自主创造新兴事物的能力，积极与国内外同行开展交流合作，一同推动半导体真空技术领域的创新与发展。
北京中科九微科技有限公司隶属于中科九微控股集团，是一家专注真空技术的高科技实业公司，研发总部在北京经济技术开发区，生产基地位于四川南充。公司格外的重视企业创新研发建设，设有创新研究院，承担了多个国家重大攻关项目，参与制定了多项国家行业标准。基本的产品有系列真空阀门、真空泵、真空测量产品、真空零部件等，大范围的应用于半导体、新能源、生命科学等领域及国家战略性支柱领域。返回搜狐，查看更加多
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